【摘 要】
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激光掺杂形成选择性发射极技术是低固定资产投入、经济效益高的太阳能电池技术之一,它具有高产量、低耗材等优点.为了为激光掺杂提供充足的磷源,需对扩散工艺进行改善,主
【出 处】
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SNEC 第七届(2013)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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激光掺杂形成选择性发射极技术是低固定资产投入、经济效益高的太阳能电池技术之一,它具有高产量、低耗材等优点.为了为激光掺杂提供充足的磷源,需对扩散工艺进行改善,主要包括扩散温度、气体流量等.激光掺杂后,通过湿法腐蚀可以很好的去除激光损伤和扩散死层.通过以上调整,156单晶电池有0.2％以上的效率提升,电流密度提高0.5mA/cm2,开路电压提高3mV以上.
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