【摘 要】
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微结构于热压印过程中，不同时间点的成型轮廓是难以观测到的，而微结构成型性的好坏往往只能由最后的压印结果才得以知道。本研究利用CCD感测器及光学设备搭配影像处理技术，针对不同时间点的成型轮廓做一线上流体填充的轮廓及相关参数的即时量测，并将所得到的数据加以记录以方便后续的分析。透过实验的方式，采用热压成型制程，以K-PG375为玻璃基材与玻璃碳(Glassy carbon)为模具，并利用实验室自制的压
【机 构】
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國立清華大學動力機械工程學系 國立清華大學勤力機械工程學系
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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微结构于热压印过程中，不同时间点的成型轮廓是难以观测到的，而微结构成型性的好坏往往只能由最后的压印结果才得以知道。本研究利用CCD感测器及光学设备搭配影像处理技术，针对不同时间点的成型轮廓做一线上流体填充的轮廓及相关参数的即时量测，并将所得到的数据加以记录以方便后续的分析。透过实验的方式，采用热压成型制程，以K-PG375为玻璃基材与玻璃碳(Glassy carbon)为模具，并利用实验室自制的压印设备来进行V型微结构的制作。本研究同时导入有限元素的数值模拟方法，将量测后的分析与模拟结果做一比较，除了验证模拟模型的正确外，并针对两者之间的误差做一评估。因此透过此一线上量测设备，不同时间点的成型轮廓将可以量测出来，利用所得到的量测结果，微结构的成型性及制程程序将可视化，对于成型的机制会有更深入的了解，同时也利于相关制程参数的最佳化。
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