【摘 要】
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利用磁控溅射法和激光闪蒸法在(100)SrTiO基片上制备了Pb(Zr,Ti)O(PZT)、YBaCuO(YBCO)薄膜以及PZT/YBCO异质结.应用RT66A测量仪测量了PZT的铁电性.应用三轴晶X-射线衍射方法,
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利用磁控溅射法和激光闪蒸法在(100)SrTiO<,3>基片上制备了Pb(Zr,Ti)O<,3>(PZT)、YBaCu<,3>O<,7>(YBCO)薄膜以及PZT/YBCO异质结.应用RT66A测量仪测量了PZT的铁电性.应用三轴晶X-射线衍射方法,研究了不同PZT厚度情况下PZY/YBCO异质结的结构特征.系统测量了PZT/YBCO和PZT/LSCO异质结中PZT的介电性能,测量了不同频率下介电常数随温度的变化以及在77K和室温情况下介电常数随频率的变化.借助于自发极化对介电常数随温度和频率的变化进行了解释.应用光刻技术成功地制备了目前尺寸最小的PZT门电极(6×10<-6>cm<2>)Ag/Pb(Zr<,053>Ti<,0.47>)O<,3>/YBa<,2>Cu<,3>O<,7-X>(PZT/YBCO)三端器件,研究了沟道电流略大于临界电流情况下的场效应.结果表明,在±9伏的门电压情况下,电阻的变化达到3%,并进行了简单的计算和分析.
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