线锯切割已成为硅材切割的主要方式,包括游离磨料线锯切割和固结磨料线锯切割,切割过程中产生的温度变化会引起材料的翘曲变形,从而影响材料的机械性能,因此,控制硅材切割过程中的温度变化非常重要。本文在前人研究的基础上,对不同线锯切割(游离磨料线锯切割和亚固结磨料线锯切割)过程中的切割温度进行仿真和实验对比分析,主要做的工作如下：1.对现有线锯切割过程中切割温度的研究进行总结,并在此基础上对不同线锯切割(游离磨料线锯切割和亚固结磨料线锯切割)过程中磨浆沿走丝方向的温度变化和磨浆-硅材的温度分布进行了仿真对比分析,对硅材沿走丝方向的温度变化进行仿真对比分析和实验对比研究。2.对不同线锯切割过程中硅材和磨浆的温度变化进行仿真分析,利用CFD前处理软件GAMBIT分别建立游离磨料线锯切割和亚固结磨料线锯切割的物理模型,并进行网格划分,再利用FLUENT进行边界及其它参数设置,分析对比了游离磨料线锯切割中和亚固结磨料线锯切割过程中硅材和磨浆流固耦合系统中的温度分布,硅材沿线锯走丝方向的温度变化曲线以及磨浆从进口到出口(线锯走丝方向)的温度变化曲线。3.对不同线锯切割过程中硅材温度变化进行实验研究。搭建线锯切割过程中的测温实验平台,对比分析游离磨料线锯切割和亚固结磨料线锯切割过程中,硅材沿线锯走丝方向的温度变化曲线。