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光栅表面缺陷检测技术及应用研究
【摘 要】
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光栅片是一种高精度的光学反馈元件,其最小检测缺陷精度需要达到微米级,如何在保证精度的情况下提高检测效率,成为光栅表面缺陷检测领域一个亟待解决的问题。目前,我国光栅制造行业对光栅的质量检测主要依靠人工通过显微镜进行检测,人工在检测过程中极易产生疲劳从而降低检测的准确性。现有的检测设备虽然能够在复杂的环境下进行检测,但是检测效率低、自动化程度也有待提高。本课题主要研究对象为圆形光栅盘片,依托于数字图像
【机 构】
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哈尔滨理工大学
【出 处】
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哈尔滨理工大学
【发表日期】
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2019年08期
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