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随着我国精密仪器应用的不断加强,其相关技术研究不断地深入与拓展。低频微振动是其中极其重要的一个研究课题,它对精密仪表的正常工作有着重要的影响。世界许多国家均高度重视,并投入大量的人力物力加以研究。在主动抗振领域,采用音圈电机对低频微振动具有明显的优势。它具有结构简单、体积小、高速、高加速度、响应快、线性力-行程优良等特性,在精密仪器及精密工业领域有着广泛地研究前景。本文通过对国内外大量文献的参考和研究,采用了主动与被动相结合的混合振动隔离系统,在以空气弹簧为被动隔振元件基础上,以音圈电机为