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该文主要研究了电阻量测法对层状Si<,3>N<,4>-TiN导电陶瓷的裂纹检测和断裂预报.同时,还对层状Si<,3>N<,4>-TiN陶瓷的主层和间层分别进行了组分和结构的设计,以提高材料的力学性能,获得材料的非脆性断裂方式,从而确保电阻量测法对裂纹检测结果的准确性和可靠性.
层状Si<,3>N<,4>-TiN陶瓷中裂纹的电阻法检测
【摘 要】
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该文主要研究了电阻量测法对层状SiN-TiN导电陶瓷的裂纹检测和断裂预报.同时,还对层状SiN-TiN陶瓷的主层和间层分别进行了组分和结构的设计,以提高材料的力学性能,获得材料的
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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1999年期
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