高功率CO2激光器电学关键技术研究

来源 :中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fems0601
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随着CO2激光器相关技术的逐渐成熟,其功率也得到不断提高,已经在激光推进、激光清洗和激光加工等领域得到广泛应用。高功率CO2激光器的核心工作过程是储能放电腔内高压电容器组的反复充放电,激光器的电学系统主要包括激光器储能放电电路、高压电容充电电源、火花开关脉冲触发系统和激光器电控系统。本文依托某工程项目高功率TEA CO2激光器系统,重点针对激光器电源传导干扰抑制技术、高频高压变压器设计技术、激光器电控系统工作模式和结构布局设计技术三项关键技术展开研究。在激光器电源的功率开关逆变电路中,高压功率开关器件(如IGBT等)工作时会产生其开关频率及其高次谐波频率的高频干扰电流,经过供电线路的传输,对激光器系统中其他组件造成影响。本文分析了高功率CO2激光器开关电源中,共模传导噪声和差模传导噪声的形成原因;使用Saber电路仿真软件,建立了电源整流滤波电路、功率开关变换电路、线路阻抗稳定网络的电路模型,对电源的传导干扰电压进行仿真预测;使用FCC公司F-16电流探头测量电源供电线路的传导发射干扰,分析传导发射电流的频域特性;完成电源EMI滤波器元件参数设计和优化。高频高压脉冲变压器是激光器电源中的重要器件之一。本文通过能量关系,求解变压器漏感和绕组电容,并分析了高频变压器的磁芯损耗和绕组损耗;建立脉冲变压器的高频等效模型;完成高频高压变压器磁芯和绕组的设计,并运用有限元仿真软件对变压器初级绕组匝数、初级绕组形式、绝缘材料、绕组尺寸等参数进行优化;制作心式脉冲变压器样机,用于高压开关电源试验,满足电源应用要求。激光器电控系统主要完成配电控制、模拟信号采集、气压调节、镜片调节、串口通信等功能。激光器放电过程中,电控系统易受强辐射干扰的影响而不能稳定工作。本文将激光器电控系统分为强电和弱电两部分完成设计,加入接地金属板保证有效隔离,并依据激光器工作流程,确定电控系统控制逻辑;从场线耦合、线间串扰和孔缝耦合三个方面,分析了电控系统中电磁干扰的耦合情况,并分别提出抑制方法;采用电场、磁场探头测量激光器近场辐射干扰,并分别对电控系统的线缆和屏蔽方舱进行电磁兼容优化设计研究。
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