基于PNZST反铁电薄膜的悬臂梁式MEMS驱动器研究

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由于在电场作用下产生的电致伸缩应变效应,反铁电薄膜具有应变程度大,响应时间短,驱动力大等优点,可以明显提升MEMS驱动器的性能。本论文基于反铁电薄膜的独特性质,提出一种使用(Pb_(0.99)Nb_(0.02))[(Zr_(0.85)Sn_(0.13)Ti_(0.02))]_(0.98)O_3(PNZST)反铁电薄膜作为驱使器件运动的材料的反铁电悬臂梁式MEMS驱动器。并对该驱动器的本构关系进行理论分析,而后通过制备PNZST反铁电薄膜,研究了反铁电薄膜在不同底电极上的微结构、储能性能等特性。最后,
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