随着光网络和光通讯的发展，以及光交换概念的提出，光开关及开关列阵起着越来越重要的地位，同时对光开关性能要求也越来越高。 LiNbO₃已经被广泛的研究了三十年，由于它具有高的电光系数和声光系数，工艺简单，材料环境稳定等优点，LiNbO₃材料集成光子器件已经应用到实际光网络中，已经成为远距离高速网络系统（10GHz以上）的外调制器优先选用的材料。 本文从Ti扩散特性和波导导模截止条件入手，计算并确定了制作单模Ti∶LiNbO₃波导的主要参数，如：波导宽8μm，Ti膜厚50～60nm，扩散温度1050℃，扩散时间9～10h等。 设计并制作了2×2耦合型光开关和1×2数字开关，其中耦合型开关主要采用的反转Δβ定向耦合器开关，开关长度约30mm，波导宽度8μm，波导间距（中心）14μm，耦合区长度17mm，电极主要采用三电极结构，最终测得对TE模开关电压＜-15，消光比≈18dB；数字开关采用非对称电极Y分叉数子开关结构，利用BPM软件模拟了其开关特性并优化了器件参数，制作中采用的主要参数为：开关长度约25mm，Y分叉角θ=0.1°，Y分叉末端波导间距（中心）30μm，电极间距12μm，最终测得开关电压27V，消光比≈18dB。