【摘 要】
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该论文研究了基于线性电光效应的外部电光测量系统.首次从理论上对外部电光测量系统的电压灵敏度和空间分辨率进行了公式推导.利用静态有限差分法在计算机上模拟了共面波导在
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该论文研究了基于线性电光效应的外部电光测量系统.首次从理论上对外部电光测量系统的电压灵敏度和空间分辨率进行了公式推导.利用静态有限差分法在计算机上模拟了共面波导在电光晶体存在下的电场分布,并且分析了电光晶体对于电场分布的影响.首次模拟了外部电光测量系统测量梳状电极的电场的信号,分析了系统空间分辨率与电压灵敏度等各个因素之间的关系.采用650nm的红光激光二极管和半绝缘GaP外部电光探头构造了一个正面入射式外部电光测量系统.并应用此系统对自行设计和制作的电极进行了测量,首次得到了小于1um的外部电光测量系统空间分辨率,相应的电压灵敏度达到12.6mVI√Hz.同时我们用该系统对集成电路进行了在片动态特性测量,取得了较好的测量结果.
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