【摘 要】
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光学制造技术、精密机械加工、计算机辅助设计装调技术的发展,使非球面的制造和应用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和检测上的困难,制约了非球面在光学系统中的广泛应用
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光学制造技术、精密机械加工、计算机辅助设计装调技术的发展,使非球面的制造和应用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和检测上的困难,制约了非球面在光学系统中的广泛应用。
本研究针对非球面度为0.2λ的大口径抛物面反射镜,从非零位干涉检测角度出发,首先通过计算,确定视频探测器的最大分辨率,得到ZYGO干涉仪直接检测非球面的使用范围。然后通过编制Zernike多项式系数计算程序,并输入所测非球面的数学模型,计算理想波面函数。通过ZYGO干涉仪直接检测浅度抛物面,对获得的实际波面数据与用编程计算得到的理想波面数据进行波面相减,得到抛物镜的实际面型误差。这种方法不需要额外的零位补偿器的加工和检测,降低了检测成本、缩短了检测时间,在测量范围内能对各种非球面达到直接检测的目的。在用干涉法检测抛物面时,由于光线不是按原路返回,所以在测量过程中,光路各种透镜不同位置的面形偏差也不可避免地混合在测量结果中。结合绝对检测法对抛物面作进一步精确测量,再进行波面相减,得到抛物镜的绝对面形偏差,提高了测量精度。为了消除绝对检测旋转所带来的误差,用改变Zernike系数来旋转干涉图的方法从而使检测精度提高了0.1λ,并利用自准法验证了所用方法检测数据的正确性,取得了较好的实验结果。
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