【摘 要】
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日盲型紫外滤光片在紫外探测系统、紫外告警系统等领域已经成为不可或缺的关键元件。本文设计要求在240-280nm增透,300-600nm完全截止。本文选取HfO2和Mgf2JGS1三种高低折射
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日盲型紫外滤光片在紫外探测系统、紫外告警系统等领域已经成为不可或缺的关键元件。本文设计要求在240-280nm增透,300-600nm完全截止。本文选取HfO2和Mgf2JGS1三种高低折射率材料组合形式,在石英基底上,采用电子束和离子辅助沉积技术及石英晶体振荡监控厚度方法,对HfO2和JGS1膜电子束沉积工艺进行了研究,对HfO2在不同材料组合的沉积工艺进行了优化,解决了膜层与基底之间附着力的问题以及Mgf2膜随厚度变化的脱膜现象,并对短波通膜系常见的半波孔问题进行分析和改善。研究了0.24-0.28μm紫外日盲波段薄膜的沉积工艺及对影响紫外波段透过率的因素,并对产生的误差和成因进行讨论。
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