微流控芯片(Microfluidic Chip)是上个世纪九十年代初提出来的一项全新的分析技术，是当前分析科学领域最活跃的发展前沿，代表着21世纪分析仪器的发展方向。不断出现的创新加工技术促进了微流控芯片的发展，使得微流控芯片的结构越来越复杂，功能越来越强大，因此，研究和探索高效简便的加工技术成为微流控芯片发展的一个重要组成部分，本论文的研究工作将围绕着微流控芯片不同材料的性能与实现不同功能的要求来进行相关加工技术的探讨。　　 本论文的主要内容有以下几个方面：　　 1、利用硅材料的单晶特性，制作集成固相微萃取结构的富集芯片，得到芯片制作的具体工艺条件，并进行优化，获得完整的加工技术方案，并对固相微萃取填料在芯片微小结构中的填充技术进行探索，实现固相微萃取芯片制作。　　 2、钠钙玻璃是常见的玻璃材料，它的光学性能等物化性能均满足微流控芯片的分析检测功能，且价格低廉，在制作芯片上有研究的价值。本文从掩膜层、刻蚀液和键合技术等几个方面摸索出钠钙玻璃的微流控最佳加工条件，极大的降低了制作成本并缩短生产周期，对于实现微流控芯片的广泛应用具有重要意义。　　 3、蛋白质结晶微流控芯片是进行高通量筛选蛋白质结晶条件，解析蛋白质结构的重要分析设备，是目前研究的重要方向，本论文根据蛋白质结晶系统的要求，设计出双层结构的微流控芯片，通过摸索获得SU-8胶芯片模具制作工艺的优化条件，利用PDMS制作微流控芯片，并对其表面性质的研究完成对流体的分散，在芯片上制作空气阀结构，实现对分散液滴的停留和自分配，以期实现实际样品的结晶过程。　　 4、微流控芯片中生物样本的检测目标物在进行检测前需要进行有效的富集，以提高检测的灵敏度。通过对琼脂糖凝胶性质的分析，提出了一种基于微注塑技术制作琼脂糖凝胶微流控芯片的方法，在微管道中通过注塑的方法形成纳米孔径的膜结构，以期实现对生物大分子进行富集。　　 本论文对以上加工技术进行了较为深入的研究，获得了不同加工材料的工艺制作优化方案，有一定的实用价值。