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在电脑硬盘制造业中，巨磁阻磁头(GMR)内部的微小的感应元件(Sensor)对静电极其敏感，因此静电放电(ESD)防护是技术研究的最重要课题之一。离子风机系统是静电放电(ESD)防护的一个关健部分，各种离子风机被广泛使用于 GMR磁头生产线。根据工作原理分类，离子风机有交流(AC)、直流(DC)和放射源式(Alpha)离子风机，各种离子风机的工作原理、性能指标和稳定性各有不同，通过对不同类型离子风机可靠性及离子风机可靠性维护的研究，对巨磁阻磁头(GMR)生产的静电放电(ESD)防护具有积极的意义。 本文从巨磁阻效应和巨磁阻磁头的工作原理出发，介绍了巨磁阻磁头的内部结构及其等效电路，并阐述其静电放电失效机理，也进一步地做了模拟仿真测试。 接着，本文对离子风机的静电防护技术进行了深入仔细地研究。通过对直流(DC)离子风机电极探针的损耗的研究，发现正负极发射电极的损耗不同。随着时间的推移，直流(DC)离子风机的平衡电压会漂移，为直流(DC)离子风机需要定期检测、调节及定期更换发射电极提供依据。通过对离子风机ESD特性的研究，确定在GMR磁头生产中，离子风机的安全工作距离应为12inch(约30cm)。由于现有的离子风机种类多、价格相差大，根据工序的重要程度去选择离子风机是有必要的。通过离子风机在GMR生产工序中的验证，确定了GMR磁头生产关健工序需要安装Alpha离子风机的指导方针。 最后，提出了离子风机预防性维护的概念，通过预防性维护管理系统的实施，使维护更具有效性、可追溯性和可靠性。使整个GMR磁头HGA和HSA生产线的静电防护水平提升，维护费用降低。 本文所提出在确保GMR磁头生产的静电防护的前提下，在GMR磁头生产关健工序安装Alpha离子风机的指导方针，对生产具有实际指导意义。