本文主要从尿素-NaBr-KBr熔盐体系中制备CoNiFe合金膜，对合金膜的晶体结构，表面形貌，磁性能等进行了测量。研究了不同热处理条件对合金膜结构和磁性能的影响。 在尿素-NaBr-KBr-甲酰胺熔盐体系中研究了Fe2+，Co2+和Ni2+在ITO玻璃上的电化学行为。恒电位-0.7V和脉冲电位共沉积了CoNiFe合金膜。 通过AFM观察到合金膜中由细小亚晶构成了大晶粒，亚晶大小为200m。脉冲电沉积所得合金膜的亚晶大小为几十纳米。用XRD分析了沉积所得的CoNiFe磁性合金膜晶体结构为fcc和hcp混杂晶体结构。EDXS分析合金膜均为富Co磁性合金膜。合金膜的Bs可高达1.9T。 研究了热处理条件对合金膜结构和磁性能的影响。合金膜经500℃热处理后，晶体结构从原来fcc和hcp混杂的结构转变为单一的fcc结构。同时晶粒长大。同样研究表明，热处理有助于改善合金膜的软磁性能。