随着高密度存储技术、大规模集成电路制造技术、微电子机械系统(MEMS)、精密制造、精密加工等技术的飞速发展,特别是大规模集成电路制造技术的迅速发展,对面形测量技术提出了越来越高的要求.光学干涉测量技术由于其非接触,高精度和高灵敏度等特点,在面形测量领域得到了广泛的应用.在各种面形干涉测量技术中,移相干涉面形测量技术结构简单、调制方便、精度高,一直是高精度面形测量领域研究热点之一.该文对移相干涉面形测量的关键技术--相位提取技术与相位展开技术进行了详细讨论.如何消除主值相位图中的噪声对相位展开结果的影响是移相干涉面形测量的关键问题.这一问题虽被广泛研究,但至今仍未很好解决.该文把智能最优化技术中的模拟退火技术应用到相位展开中来,提出了基于模拟退火算法的相位展开方法.数值模拟和实验均证明,在主值相位图带有大量噪声的情况下,此相位展开方法仍可以成功地实现相位展开,重构物体表面形貌.在相位展开算法中,去噪声能力和处理速度常常是一对矛盾.该文提出了一种基于相位分布特征的相位跳变区域划分方法,该方法对相位跳变区域划分准确、快速.在此基础上提出了基于相位跳变区域划分的相位展开方法.此相位展开方法处理速度快,克服噪声能力也很强,具有较强的实用性.这些相位展开技术增强了移相干涉面形测量技术的抗噪声干扰能力,提高了测量精度.基于移相干涉面形测量技术,我们建立了一套光纤连接器端面测量装置.通过纳米精度地测量光纤连接器端面形貌,高精度地给出了光纤连接器端面的曲率半径、顶点偏移、光纤高度等几何参数.