在信息化时代的今天,电子信息领域正蓬勃发展,平板显示技术是电子信息产业的核心,广泛应用于生活中的各行各业,随处可见。随着对平板显示要求的提高,平板显示器正朝着轻薄化、大型化发展,而玻璃基板作为显示器的重要原料,对其在加工和输运过程中的要求大大提高。随着运输技术的发展,对大型玻璃基板的输送已经从传统的接触式滚轮逐渐发展到气浮导轨的无接触运输,在利用气浮输运玻璃基板时,可以实现玻璃与输运设备的无接触,避免划痕和破损。然而在利用小孔或多孔介质作为节流元件输送玻璃时,由于间隙内气膜压力分布对气膜承载力产生影响,最终导致玻璃基板的变形,使得无接触输运效果大大减弱。因此,在气浮输运的基础上如何控制玻璃基板的变形情况是当前研究中的重点和难点。本文基于多孔质气浮输运系统,研究玻璃基板在气浮输送中的形变情况,对气浮导轨的参数设计和形变控制具有重要的研究意义。本文的主要研究内容如下:1.以多孔介质作为节流元件,设计新型气浮导轨并介绍其工作原理,利用气浮导轨的承载力支撑玻璃基板悬浮在导轨上方。研究多孔质内气体流动情况,并以此为基础建立导轨间隙内气膜压力分布模型并介绍其求解方法,通过对静态和动态模型计算结果对比,验证其正确性。2.建立气浮导轨的流场模型,通过CFD软件模拟工作条件,分析不同参数下气膜内的压力分布情况,研究气膜间隙高度、供气流量及供气单元组合排列等参数对气膜的承载能力和刚度的影响关系。3.基于薄板小挠度弯曲理论,结合气浮导轨的工作原理,分析薄板在气膜承载力下的形变情况,建立玻璃基板形变方程,分析了供给流量、多孔质半径及边缘区域宽度等参数对玻璃基板的形变影响。研究玻璃基板在气浮支撑下的形变势能情况,分析不同形变情况对势能的影响。4.分析玻璃基板形变的控制方式,设计气浮平台的供气回路,利用PID实现对玻璃基板的形变控制;搭建气浮平台,设计气膜压力与玻璃基板形变测量装置,对不同流量和供气组合下的气膜压力进行测量,测量玻璃基板的形变情况,发现控制组合和调节流量能够有效减小玻璃基板的变形。