在钛的超薄微带上电流感生氧化技术及其应用的研究

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本文主要论述了我们在钛的超薄微带上进行的电流感生氧化技术及其应用的研究,给出了关于电流感生氧化实验的结果和相关的分析。在论文中首先概述纳米电子学概念,描述了纳米电子学的最新进展。接着介绍了和本文工作有关的氧化钛材料和无序介观系统的一些重要性质。并且讨论了纳加工技术,尤其是本文工作所采用的电流感生氧化技术。然后围绕电流感生氧化技术展开,讨论了为之设计的实验和验证其真实性的数据。通过实验数据和实验现象的分析,验证了钛的超薄微带上的氧化确实是横向方向进行的,并由通过图案的电流感生的。在制成的原型二端器件上,测量到的伏安特性,具有明显的非线性,并且带有阻塞区,这一点类似于单电子器件特有的库仑阻塞效应。我们运用原子重组和电迁移理论分析了这一实验结果的机制。然后论述了用电流感生氧化技术制作的原型三端器件。观测到其具有栅控效应和某些无序介观系统的电学特性。栅控效应表现在源漏之间伏安特性受到栅电压的控制,是电压控制型器件。随着栅电压Ug增加,相应的源漏电流就变小。通过跨导gm和栅电压Ug的关系曲线,以及对这类曲线作傅里叶变化分析,发现该原型器件具有跨导周期性的振荡。该特性正是介观无序系统的行为的某种表现。最后总结了全文并对电流感生氧化技术的前景做了展望。
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