本文利用中频脉冲磁控溅射系统研究了应用于硅薄膜太阳能电池上的铝掺杂的氧化锌（ZAO）透明导电薄膜的制备和性能,主要内容如下: 利用掺Al 2wt%的Zn:Al合金靶,通过变换工艺参数,研究了溅射功率、氧分压、工作压力以及衬底温度对ZAO薄膜电学、光学以及结构性能的影响,在实验和分析的基础上确定了最优工艺条件即:本底真空4.5×10^-4Pa、溅射功率180W、工作压力1.33Pa、衬底温度180℃、氧分压为0.19Pa、靶电压控制在320V。制备的薄膜厚度为600nm、电阻率为5.57×10^-4Ωcm、载流子浓度2.2×10²⁰cm^-3、霍尔迁移率40.1cm²/V·s、可见光范围内（400～800nm）的平均透过率大于85%。 利用腐蚀法和大功率高温高压直接生长法制备了绒面结构的ZAO薄膜。对于腐蚀法,研究了衬底温度、工作压力和溅射功率对绒面结构的影响,确定了适合制备绒面ZAO薄膜的平面ZAO薄膜的优化工艺条件:本底真空4.5×10^-4Pa、溅射功率80W、工作气压0.3Pa、衬底温度220℃、氧分压0.043Pa、靶电压控制在340V;对于大功率高温高压溅射的方法,研究了工作气压和溅射功率对薄膜的绒面结构造成影响,确定了优化工艺条件:功率控制在700W、温度控制在250℃、压力控制在13Pa;利用上述两种方法均制备出了高质量的绒面ZAO薄膜,将其应用到太阳能电池制备,得到了良好的效果。用绒面ZAO薄膜作前电极制备的非晶电池,短路电流J_sc有了明显的提高,非晶硅电池在生长背电极后,短路电流J_sc有一个明显的提高,效率提高近1个百分点。