【摘 要】
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微波移相器是能改变电磁波相位的器件,广泛应用于电子通信系统中,是相控阵雷达、合成孔径雷达、雷达电子对抗、卫星通信、接收发机中的核心组件。因此高性能的移相器在这些系
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微波移相器是能改变电磁波相位的器件,广泛应用于电子通信系统中,是相控阵雷达、合成孔径雷达、雷达电子对抗、卫星通信、接收发机中的核心组件。因此高性能的移相器在这些系统中起着至关重要的作用。但传统微波移相器存在尺寸大、功耗高的缺点,无法满足电子通信系统日新月异的发展。而MEMS移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,弥补了传统移相器的不足,是国内外研究的热点。本论文正是基于上述分析,以MEMS移相单元为主要的研究对象,在深入分析MEMS开关电磁及机电性能的基础上,对X波段MEMS移相器作了创新性和探索性研究。主要内容为:1.详细研究了MEMS移相器的微观结构和特性。2.详细研究了X波段MEMS分布式移相器的工作原理。3.详细研究了应用于X波段MEMS分布式移相器的单元开关电路,并对其结构进行了优化。4.设计一种X波段MEMS分布式移相器,并从电磁性能和机电性能两方面进行了仿真。
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