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钙钛矿氧化物薄膜是当今国际上备受关注的功能材料,在微电子学、光电子学、以及光电集成器件等方面具有广阔的应用前景,本论文选取纯的 Bi4Ti3O12 和掺杂 Bi4Ti3O12 材料,围绕薄膜的制备、过渡金属掺杂以及薄膜结构、表面形貌和光学性质表征等进行了研究,取得了一些结果。主要内容如下: 1. 采用化学溶液法在 Si(100)衬底上制备 LaNiO3(LNO)导电薄膜,研究不同退火温度、不同薄膜厚度对薄膜性质的影响。发现各种条件下制备的薄膜均沿(110)取向,尤其以 650°