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微纳米测量技术已成为当今国内外测量技术领域研究的热点和前沿,也是我国重点支持和发展的高新技术之一。随着微纳米技术的发展,出现了各种微纳米级别的测量仪器,如纳米坐标测量机、光学显微镜、电子显微镜、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)等等,但这些仪器一般都非常昂贵,多应用于研究领域中,不适合应用到本科实验教学中。本文设计了一种低成本触针式微位移测量系统,可应用于本科生微纳检测实验教学中,在保证一定测量精度的基础上,充分演示了微小尺寸的测量原理,有利于促进本科生在实验教学中对学科前沿知