【摘 要】
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该文首先介绍了纳米技术的发展现状和扫描探针显微镜(SPM)技术的最新进展,在此基础上重点介绍了利用石英晶振制作微力传感器的新型扫描探针显微镜,将其与传统的基于微悬臂的S
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该文首先介绍了纳米技术的发展现状和扫描探针显微镜(SPM)技术的最新进展,在此基础上重点介绍了利用石英晶振制作微力传感器的新型扫描探针显微镜,将其与传统的基于微悬臂的SPM进行了对比分析.论述了静电力传感器的理论模型.就晶振的物理和电气特性、影响晶振振动的关键因素进行了分析,探讨了晶振与样品表面接近时相互作用的原理,建立了物理模型来对其动力学特性进行解释.在此基础上,提出了静电力传感器的设计方案,分析了其作用机理.在原子力显微镜(AFM)的平台上,设计了基于晶振的静电力检测系统;对系统构成、系统控制、信号分离以及前置放大部分作了详细描述;此外为实现该平台的STM、AFM、EFM等的通用,给出了系统模块化的设计方案.
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