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数控机床的加工精度是影响被加工工件尺寸精度的一个直接原因,工件的最终加工精度是由机床刀具与工件之间的相对位移误差决定的。现在误差补偿主要是从软件的角度出发,但是这不能从本质上解决问题误差问题。我国机床精度受到制约也就是工作母机精度落后,所以从硬件去补偿研究其误差是很有必要的。随着Tb-Dy-Fe为代表的稀土超磁致伸缩材料功能材料广泛发展,它具有磁致伸缩大、响应速度快、磁-机械耦合系数大、磁滞小等优点,是理想的微位移驱动材料。结合超磁致伸缩材料的特性,按照课题给定的性能指标,对超磁致伸缩微位移补偿系统