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在过去几十年间,在半导体氧化物传感器领域,对可燃性气体如CO、CH<,4>和H<,2>等进行了大量的研究,然而对挥发性有机化合物(VOCs)蒸气尤其是有毒VOCs蒸气的研究很少报道.该文从纳米ZnO颗粒的制备、掺杂剂的作用以及气敏元件制备工艺的调整等方面,系统地研究了ZnO纳米颗粒制作的厚膜对苯、甲苯、二甲苯、乙醇和丙酮五种VOCs蒸气的敏感特性.