微光机电系统（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems,MOEMS）是近年来从微机电系统（Micro-electro-mechanical-systems,MEMS）领域中发展起来的一种新型的、极具生力的技术系统。微光机电系统是一种可控的微光系统,该系统的微光学元件可以在微电子和微机械器件的作用下控制光束的会聚、衍射和反射,这使光学开关、衰减、扫描和成像功能达到很好的效果。由于其容量大、亮度高、使用寿命长、体积小、重量轻、功耗低,因此,使用光学MOEMS传感器进行投影是将来投影显示技术的发展趋向之一。随着MOEMS大规模应用,在研发、生产和检验过程中,需要大量测试不同性能指标的器件。设计研发可靠性更强、精确性更高且经济实用的自动测试系统来快速准确测试产品对微电子研发生产企业提升产品性能和质量是亟待完成的工作。本文主要针对MOEMS扫描镜自动测试系统进行设计研究。论文首先分析了MOEMS自动测试系统的应用背景和国内外研究现状,然后对MOEMS测试系统总体设计需求进行分析,接着介绍了系统的主要技术指标,最后确定了基于虚拟仪器技术的自动测试软件架构和标准化仪器仪表检测技术相结合的扫描镜性能测试方案,并详细介绍了测试系统的硬件组成、整体流程设计和软件功能设计,最后对MOEMS扫描镜的主要性能指标进行了测试。MOEMS自动测试系统（Automated Test System,ATS）设计主要包括硬件设计和软件设计。测试系统的硬件设备由上位机、电源模块、驱动模块、数据采集模块、测量模块、通信模块和PSD（Photosensitive Station Detect）光电检测模块等部分组成。软件部分由上位机软件组成,上位机软件采用具有较好数据分析功能的国家仪器（National Instruments Corporation,NI）公司Labview（Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench）软件,实现测试系统仪器仪表数据自动采集、对采集的数据进行分析处理以及数据存储等功能。其中包括的技术主要有:通过SCPI（Standard Commands for Programmable Instruments）指令和VISA（Virtual Instrument Software Architecture）函数库实现对任意波形发生器等各测量仪器的控制,使扫描镜处于扫描状态的同时实时采集测试数据,从而达到为待测器件提供激励信号和各项指标测试的目的;通过Labview开发平台与Excel连接实现了扫描镜测试参数的自动生成和打印。并在系统中加入了系统自检、用户登录、仪器仪表状态显示等模块。在论文最后,测量了MOEMS微镜的谐振频率、光学偏差角以及角度检测灵敏度,各项指标满足扫描镜的指标要求。该测试系统相对于使用单片机以及FPGA（Field Programmable Gate Array）驱动、采集的方式,测试更加准确,可靠性也更强,能够满足企业对测试系统的研制要求。