激光与半导体材料相互作用的研究日益成为国内外激光技术应用领域的研究热点之一。高重复频率激光辐照下,多晶硅材料的损伤阈值会降低,低脉冲能量、高重复频率激光在激光加工中应用,可以提高加工效率。因此,研究多晶硅材料的多脉冲损伤机理,掌握多晶硅材料在高重频皮秒脉冲激光辐照下的损伤规律是非常有意义的。本文对高重频皮秒脉冲激光作用多晶硅材料的损伤机理进行了研究。首先分析了多晶硅材料的基本特性。然后建立高重频皮秒脉冲激光辐照多晶硅材料的实验系统,开展了多晶硅材料的激光辐照实验,测量了多晶硅材料在不同辐照时间下的损伤阈值;研究了多种重复频率激光辐照多晶硅的损伤规律;探究高重频皮秒脉冲条件下波长差异对多晶硅损伤的差异。最后得到多晶硅材料在高重频皮秒脉冲激光辐照下的损伤特性和损伤规律,分析高重频皮秒脉冲激光辐照多晶硅的损伤机理。本研究结果为高重频皮秒脉冲激光熔覆、切割和上色等多晶硅材料加工工艺奠定基础。