纳米定位平台是纳米定位系统的重要组成部分,被广泛的应用于微操作和微定位等领域。本文分别以压电陶瓷驱动的带有位移放大机构的和不带有位移放大机构的两种一维纳米定位平台为研究对象,对其进行了系统分析和误差分析。　　 第一章主要阐述了研究纳米定位技术的意义,分析了纳米定位平台的研究现状及其发展趋势,给出了本文的研究内容和技术路线。　　 第二章简要介绍压电材料的基本原理及选择方法,给出了压电陶瓷驱动器的驱动原理及其一些主要特性,如迟滞特性、蠕变特性、温度特性、非线性特性等。　　 第三章的主要研究内容是分别用力法和能量法推导了带有杠杆式放大机构的一维纳米定位平台的系统刚度和固有频率的计算公式,并对系统刚度的计算公式用有限元分析法加以验证,对一维纳米定位平台的设计有一定的参考意义。　　 第四章主要研究了带有杠杆式放大机构的一维纳米定位平台拉杆尺寸对纳米定位平台定位精度的影响,并用J下交试验设计的方法找到了拉杆的较优尺寸;对不带有放大机构的一维纳米定位平台驱动器安装孔的位置度和垂直度对纳米定位平台定位精度的影响情况进行了方差分析。　　 第五章简单比较了快走丝和慢走丝电火花加工的特点,给出了论文中分析的一维纳米定位平台的加工工艺要点和加工图纸。　　 第六章总结了全文的工作,展望了纳米定位平台技术的发展趋势。