纳米定位平台相关论文
微纳检测操作系统是一种用于微纳米尺度操作和检测的设备,具备纳米精度位移、力施加与检测的能力。其广泛应用于高精度测量光、机......
近十年来,以柔性铰链为导轨,压电陶瓷为驱动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到精密定位、精密机床、扫描隧道显微镜......
纳米定位平台是纳米定位系统的重要组成部分,被广泛的应用于微操作和微定位等领域。本文分别以压电陶瓷驱动的带有位移放大机构的......
21世纪是质量的世纪,产品开发的战略问题日显重要。本文以纳米定位平台开发为研究对象,研究产品开发的质量战略。第一章回顾了质量......
针对纳米定位平台本身机械结构以及负载发生变化时,其固有频率变化造成谐振频率也随之改变的问题,提出了一种自适应IIR带阻滤波器......
为了提高原子力显微镜（AFM）的测量范围，设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统，测量系统中有两条反馈回路：一条......
针对空间类高性能精密传动部件,对其结构微型化和功能集成化的需求越来越高,这样就需要传动机构的外型尺寸更紧凑,结构更复杂的微......
本文设计了一种三自由度纳米定位平台,实现θ_x、θ_y、z三个自由度方向上的精密运动,并设计了定位平台的控制系统,搭建了定位平台......
学位
纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,......
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
随着社会对纳米科学技术的日渐重视和关注,扫描探针显微镜(SPM)在近30年的时间里有了突飞猛进的发展,在表面科学、生命科学、材料......
在开展扫描近场光学显微镜中关键技术研究基础上,比如三维纳米定位平台、光纤探针的制备方法以及探针-样品间距的近场测控技术等,......
