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微细铣削是一种具有较高精度的精密三维微小零件的加工技术，被加工零件尺寸和精度在很大程度上依赖于微铣削刀具的切削性能。化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石膜作为一种拥有众多优异性能的功能材料，是制造新型超硬微铣刀的优越刀具材料。但由于其具有极高的硬度和化学稳定性，用目前的技术加工CVD金刚石微铣刀时加工效率低、成本高昂。为了实现CVD金刚石微铣刀高效制备，本文开展了一种新型的基于图形化法的CVD金刚石微铣刀制备技术研究，本文完成的主要研究内容及取得的成果如下：1.通过有限元对多种结构的CVD金刚石微铣刀的模态和应力应变进行了分析。获得了多种结构的CVD金刚石微铣刀的模态、失效形式和应力分布，分析对比了不同刃口几何形状的微铣刀的强度和刚度，为具有合理刀具结构形式和刃口形状的CVD金刚石微铣刀的制造提供依据。2.利用ICP刻蚀工艺加工制造了一系列高质量的硅微模具，采用CVD技术在硅微模具上成功制备了特征尺寸为25μm、50μm、100μm的D型和四棱柱微铣刀头。SEM、ADE的分析结果表明图形化法工艺能够获得表面质量好，形状和尺寸精度高的CVD金刚石微铣刀头，图形化法制备CVD金刚石微铣刀的工艺可以实现复杂结构微铣刀头的批量化生产。3.在高速钢刀柄上进行了包含微铣刀头的CVD金刚石膜的钎焊实验。结果显示钎焊后的CVD金刚石结构完整，未出现裂纹或石墨化，钎料铺展均匀且厚度一致性很好，在钎料与金刚石的结合处形成了冶金连接。