超透镜特性及可见光范围褶皱金属膜单缝系统单透性

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本文主要研究单负材料(银)构成的超透镜在光刻装置中的特性和可见光范围褶皱金属膜单缝系统的单透性两个方面的内容。由于单负材料薄膜其实并不能像双负材料那样进行聚焦成像,而是利用零折射原理进行压印成像。因此早先人们抱有希望的金属超透镜在光刻装置中的特性并未完全被澄清。本文根据零折射理论从三个方面对这个问题进行了细致研究:一、通过改变各个参数来计算光刻胶表面能量分布,从而了解了各参数对于成像的影响,并从物理图像上进行了解释。二、计算了光刻装置下超透镜P波和S波的透射系数|T|与横向波矢|kx0|的关系。将其与真空环境下的结果进行对比,发现二者有很大区别。讨论了两种环境下超透镜透射系数存在的差异和联系。三、根据光刻胶表面能量分布合理设定光刻胶能量阈值,据此计算了光刻胶内部的光强分布,这里的结果可以给出刻痕形状的信息。单向透射是指在某种结构中两个方向的透射率不同。金属亚波长单缝/褶皱膜结构是新型电磁波单透结构。本文在可见光范围内,利用时域有限差分方法(FDTD)分别对其进行模拟计算。计算针对三个具体样品:第一个样品利用金属表面褶皱对金属表面等离子体(SPP)的影响,造成褶皱面方向增透效应,实现单向透射。第二个样品利用褶皱压制SPP共振,实现单透。对比以上两个样品,第一个样品通透性较好,但反向透射率偏大,第二个样品正相反,透射率被压制到很低。结合前两个样品的优点设计了第三个样品,获得了较大的正向透射率和很小的反向透射率。
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