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随着半导体技术发展,电子器件的微型化和小型化已成为趋势。微型化的电子器件需要高电压低功率的微型电源,为微型温差电池的应用提供了广阔的应用前景。微型温差电池多采用薄膜温差电材料制造。电沉积技术制备薄膜温差电材料具备成本低,易于实现规模化生产的特点。本课题旨在通过对微型温差电池结构设计和对所设计结构的微型温差电池制备工艺的研究,探索出微型温差电池的制备工艺。在此基础上,通过工程模拟计算的方法,优化应用于微型温差电池的散热片结构。本文设计了一种纵向结构微型温差电池。该结构通过大量微型温差电池单片中n型和p