本文概述了微机电系统,介绍了微细制造技术及超声微细加工和电解微细加工技术的现状;着重分析了超声电解复合微细加工用于MEMS器件制造的理论可能,研究了实施超声电解微细加工的基础条件。 本文创建了超声电解微细复合加工工艺试验系统。从变幅杆的设计制造,到设计制作不同截面形状的工具头(如直径为1mm的圆形工具头、边长为1mm的方形工具头和三角形工具头),对不同材料(玻璃、压电陶瓷、硬质合金S25、硬质合金YT15)分别进行了单一超声加工(对比)试验以及超声电解复合加工试验。试验过程中,分析了电解液参数(成分、浓度、温度)、电参数(加电电压、脉冲参数)、超声振幅A、频率f、进给压力及磨料粒度等工艺因素对复合加工过程稳定性、工件表面质量、加工效率的影响。通过协调配合电解与超声的相互作用,成功地加工了多种小孔类试件,获得在加工速度、加工精度和加工表面质量方面均较理想的效果,从而证实了超声电解复合加工制造MEMS微小器件的可行性和优越性。 论文最后对超声电解复合微细加工技术的后续研究提出了建议。