【摘 要】
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近年来柔性电子因其突出的可延展性、适应性和便携性等优势在信息、能源、医疗等领域得到了广泛关注和高速发展。卷到卷输送工艺作为柔性电子高效、低成本制备关键环节,为适应柔性电子领域中新型器件精密且复杂的工艺要求,需要保证对输送柔性膜的高精度定位。本文针对卷到卷输送工艺中的柔性膜在横向和纵向的定位偏差问题开展偏差产生机理分析、偏差动力学建模和实验研究、偏差检测方案设计等工作,主要研究内容如下:首先,建立了
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近年来柔性电子因其突出的可延展性、适应性和便携性等优势在信息、能源、医疗等领域得到了广泛关注和高速发展。卷到卷输送工艺作为柔性电子高效、低成本制备关键环节,为适应柔性电子领域中新型器件精密且复杂的工艺要求,需要保证对输送柔性膜的高精度定位。本文针对卷到卷输送工艺中的柔性膜在横向和纵向的定位偏差问题开展偏差产生机理分析、偏差动力学建模和实验研究、偏差检测方案设计等工作,主要研究内容如下:首先,建立了柔性膜在卷到卷输送下横向运动偏差动力学模型。以相邻两辊轴间的单段柔性膜为研究对象,采用欧拉梁模型,建立柔
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