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音圈电机是一种特殊的无需任何中间传动转换装置就能带动负载进行直线运动或者摆动运动的电机,它具有高频响应、高速度、高加速度、高定位精度、结构简单、体积小、质量轻、力特性好、控制方便等优点。在半导体引线键合技术中,音圈电机由于具有微米、亚微米、甚至几十纳米的定位精度而被大量应用,为了生产的高效率,此时音圈电机都工作在高频状态中,例如第一代键合机工作能力在10线/秒;第二代键合机在25线/秒,第三代键合机将达到40线/秒,然而大量的实验表明,键合机中的音圈电机工作在40Hz的高频状态时,存在很复杂的迟滞现