耦合垂直腔面发射激光器波长调谐特性的研究

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作为一种新型的半导体激光器,垂直腔面发射激光器(Vertical-cavitysurface-emitting laser,VCSEL)具有阈值低、远场发散角小、易与光纤耦合、易实现单纵模工作和易二维集成等突出优点。耦合垂直腔面发射激光器(Coupled-cavity vertical-cavity surface-emitting laser,CC-VCSEL)继承了VCSEL的诸多优点,同时可以实现双波长光输出,能够很好的满足光波分复用、THz频率发生器、双波长干涉测量等技术对双波长发光器件的特殊要求,因此也越来越受重视。本文在考虑了顶、底腔折射率随载流子变化的比例系数b1、b2的基础上,通过结合CC-VCSEL的上下两布拉格反射膜堆的边界条件和中间布拉格反射膜堆的耦合传输矩阵,导出了耦合垂直腔面发射激光器的各个激射波长满足的光场平衡方程,通过该方程解出了两腔内的阈值载流子浓度,研究了载流子浓度变化对激射波长的影响,讨论了CC-VCSEL的两个重要参数对波长调谐的影响:腔内折射率随载流子变化的比例系数(b1,b2)、中间DBR层数。利用稳态载流子速率方程,结合阈值载流子浓度和各激射波长的耦合因子,得到了器件的电流阈值特性及工作状态,进而得到了输入电流对激射波长的影响,即CC-VCSEL的调谐特性。
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