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为了克服电子束蒸镀技术存在的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,从而扩大电子束蒸镀技术的应用范围。本文在实验室原有电子束蒸镀设备的基础上,对其进行改造添加了射频线圈。实验中,首先在射频线圈上接入频率为13.56MHz的射频电源,在坩埚与射频线圈之间实现了射频辉光放电,产生了金属等离子体。从实验现象观察到,在射频电源加入后,真空室内出现了很强烈的蓝光;然后研究了线圈的几何配置、放电参数对射频辉光放电反射功率的影响规律,结果表明采用3匝直径82mm的射频线圈,在同等条件下反射功率最小。放电距离为100