硅上液晶（Liquid Crystal on Silicon，LCoS）显示技术是一种反射式液晶显示技术，是CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的产物，具有高密度、高分辨率、高开口率、高亮度、轻、薄、成本低等优点。LCoS是投影技术和微型显示系统发展的重要技术之一，具有广阔的市场背景。　　 论文在深入理解 TFT-LCD的工作原理基础上，对硅基液晶显示器件的工艺结构、显示原理和彩色显示的实现方法进行了深入研究。着重分析了几种LCoS的显示模式，并采用Matlab模拟计算各种模式的偏振转换效率（PCE，polarizing conversion efficiency）曲线，通过PCE曲线判断每种模式能够达到的最大反射率，以此判断工作模式的优劣，同时也可以确定相应模式下LCOS液晶屏的工艺参数。　　 以模拟结果为指导，工艺上流通了LCoS屏的工艺流程，确定了相应的工艺参数，完成了LCOS液晶样品屏的制备。并对影响LCoS液晶屏的反射率的主要参数：盒厚、取向膜厚度及封盒的压力，进行了重点探讨，给出了工艺实验结果。搭建了测试光路，对制备的不同工作模式的LCoS样品屏进行了反射率的测量，测试了光电特性曲线，对结果进行了分析与比较，并针对不同工作模式的缺陷，提出了进一步改进的建议。　　 总之，本文以LCoS显示屏为研究对象，研究了其工作机理和显示方式；通过模拟计算分析了影响反射率的工艺参数；以理论计算为指导，流通了工艺制备流程，完成了LCoS液晶盒的制备；通过搭建的实验平台测试了样品屏的光电特性曲线，分析了测试结果，为LCoS显示器件的进一步研究打下了良好基础。