【摘 要】
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该文研究了三种质量敏感基质传感器,分别为体硅加工技术制作的PZT微悬臂梁和激光激振的微悬臂梁以及QCM谐振式质量敏感传感器.首次采用对氟利昂有高度选择性的MFI分子筛气敏
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该文研究了三种质量敏感基质传感器,分别为体硅加工技术制作的PZT微悬臂梁和激光激振的微悬臂梁以及QCM谐振式质量敏感传感器.首次采用对氟利昂有高度选择性的MFI分子筛气敏材料和新型的PZT谐振式微悬臂梁基质传感器相结合,成功地获得高灵敏度、高选择性的氟利晚气敏传感器.结果表明在较低浓度下(10ppm)对氟利昂气体具有较好的响应,最低可以探测到3.5×10<'-9>g氟利昂气体的吸附量,对氟利昂的灵敏度达到-0.0024％/ppm,而对乙醇气体无响应,具有比较好的选择性,同时实验结果还表明该传感器具有较好的重复性和可逆性.为了进一步研究和验证分子筛这样一种新型的敏感材料的敏感性和选择性,该文还将Ag<'+>ZSM-5纳米分子筛和QCM结合,研究了对丙酮气体的响应.结果表明对不同浓度的丙酮气体该传感器具有良好的频率响应,在丙酮气体浓度为15ppm的时候仍然具有良好的响应,并有望测量到更低的丙酮气体浓度;对丙酮气体的探测灵敏度为每ppm/0.5Hz;对该传感器的选择性研究结果表明对乙醇的响应小于对丙酮的响应,同时还具有较好的可逆性和重复性.
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