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本论文以铁电薄膜材料为研究对象,以制备成分均匀的铁电薄膜为基础,采 用溶胶凝胶的方法,最终获得高质量的铁电薄膜为中心开展工作。通过改变薄膜 的制备工艺条件,探索了采用溶胶凝胶工艺制备成分稳定的铁电薄膜的实验途 径,研究了薄膜的结构和表观形貌。 Ba2TiSi2O8晶体被认为是一种特殊的压电体,它具有压电性、热释电性和非 线性光学特性。本文中采用溶胶凝胶的方法成功的