非球面接触式轮廓仪三维测量研究

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随着光学技术的发展,非球面已满足人们对光学系统提出的许多新要求。如增加系统的相对孔径,扩大视场角,改善光照均匀性,简化结构和提高成像质量等。人们对非球面要求不断提高的同时,对检测技术也提出了新的要求。在非球面加工的研磨和粗磨阶段,因为镜面未抛亮,粗糙度大,所以反射效率低,干涉法无法得到理想的波前。而轮廓仪对镜面粗糙度没有很高的要求,并且无需补偿器件即可直接测量表面矢高数据,可靠性强。因而轮廓仪在非球面研磨和抛光前期得到广泛应用。目前,轮廓仪在非球面检测中的主要误差来源是球头接触误差。矫正的一般方法是
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