论文主要做了以下几方面的工作： 1.将向量滤波算法应用于干涉图的处理。向量滤波算法能够快速有效地降低干涉图中的噪声，在消除噪声的同时还能够保持干涉条纹的方向性、清晰度和图像的分辨率，从而大大提高了相位解缠的精度。 2.编程实现了对干涉图的解缠。对元件轮廓进行干涉测量时,为获得反映轮廓信息的相位分布,在处理中引入了反正切计算,计算所得相位被缠绕于[-π ,π)之间。为了获得真实的相位分布，需要对这些缠绕相位作进一步处理，这一过程称为“相位解缠”。论文实现了路径积分算法中的四种和路径无关算法中的两种，并对它们的性能进行了比较和分析。 3.对Goldstein算法进行了改进和优化。通过最近邻偶极子对残差的预消除，可大幅度降低分支总长度,减少了解平面中孤立相位区域的个数,从而大大提高了算法在噪声下的性能。 4.对解缠结果的评价问题进行了讨论。论文从每一种算法的解缠结果生成不连续图，也即任何算法都可以看作是路径积分算法，通过不连续图的比较来判断各种算法的优劣。 5.将二维相位解缠技术应用于自动光学检测进行了理论探讨。