【摘 要】
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该论文进行了利用火焰水解法和紫外写入技术制备AWG器件的基础研究工作.工作的内容包括理论研究和实验基础工作两大部分,在理论上,分析了平面光波导的基本特性,推导了单模矩
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该论文进行了利用火焰水解法和紫外写入技术制备AWG器件的基础研究工作.工作的内容包括理论研究和实验基础工作两大部分,在理论上,分析了平面光波导的基本特性,推导了单模矩形光波导的设计过程和计算公式,并结合实验工作设计了利用火焰水解法和反应离子刻蚀技术以及火焰水解法和紫外光写入技术制作的两种结构的硅基二氧化硅单模条形光波导,分别计算出了波导芯层的厚度和宽度范围,以及有效折射率值.依据傅立叶光学,推导了AWG器件的工作原理和主要特性,并进一步探讨了AWG器件的设计程序和步骤,目的是为AWG的版图设计和性能优化提供依据和帮助.在实验上,利用火焰水解法在国内首次制备出了硅基二氧化硅玻璃态厚膜材料,二氧化硅膜的厚度超过40μm,在1550nm附近的折射率为1.4456,材料的吸收损耗小于0.07dB/cm.利用KrF准分子激光研究了GeO<,2>-SiO<,2>薄膜的光敏特性,紫外光在GeO<,2>含量为7.5mol﹪的GeO<,2>-SiO<,2>薄膜中诱导出的折射率相对变化量达到了0.33﹪.
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