一种大量程电容式加速度计的设计

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本文设计一种基于体硅工艺的大量程差分电容式微加速度计。通过理论分析结合有限元分析软件ANSYS对加速度计微结构进行了模拟,分析静态与动态性能,实现了微结构具体设计与优化。本文设计的加速度计结构利用差分电容原理,采用了“三明治”即玻璃-硅-玻璃的结构。此种设计可以实现较大的质量块、灵敏度高的特点。本设计采用直板8臂式弹性梁结构,通过改变弹性梁结构的厚度可以进一步调节传感器的灵敏度及量程。通过有限元方法用ANSYS对微机械加速度计的静态、模态、应力以及谐响应等特性进行了仿真与分析。利用M
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