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MEMS数字加速度计的研究主要包括模拟MEMS加速度计、加速度信号数字化及数字加速度计测试等内容。数字加速度计测试系统用于分析加速度信号的各类参数,贯穿于MEMS数字加速度计研究中的研发、试制及成品检测等研发生产环节。针对MEMS加速度计数字化技术的要求,本文研究MEMS数字加速度计测试技术的集约化、智能化和实时化,并结合新型MEMS加速度信号计的复杂性特征,对测试系统技术及加速度信号分析算法展开研究,以满足MEMS数字加速度计研发过程中对贯穿整个过程的测试要求。MEMS数字加速度计测试系统主要由上