非平衡定态相图在CVD低压金刚石生长过程中的应用

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寻找合理的理论方法对金刚石的低压生长过程进行定量化的研究是人们一直关注的课题.王季陶等人在1990年提出了非平衡热力学耦合模型(早期称化学泵模型),认为在常温常压下,石墨不能自发转变成金刚石.利用该模型工作者得到了一类全新的相图-非平衡定态相图,可以对低压金刚石生长作出合理的热力学解释.在这样的非平衡态生长过程中,各物相的状态不随时间而变化,困而物相与温度、压力及组份浓度之间必然存在着某种特定的关系,这种特定的状态关系图即被称为非平衡定态相图.根据实验条件分别计算了碳氢、碳氢氧、碳氢氟、碳氢氯和碳氢氮五个CVD金刚石生长体系的非平衡定态投影相图.
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