频率选择表面（简称FSS）是一种由无数个相同的基本单元结构在二维平面进行周期性排布后组成的无限大平面结构,由于其对电磁波具有选择透过性,在透射相应频段的电磁波的同时可以反射相应频段的电磁波,因此其本质是一种空间滤波器,在包括微波辐射计、天线罩等系统在内的微波领域具有极大的应用前景。本课题主要研究了工作于毫米波段的FSS的仿真设计与加工。为了满足准光学馈电网络系统对于频率分离器件在通带内低插入损耗、通带外高隔离度的指标要求,设计了基于有机薄膜材料基底的多层频率选择表面结构,然后进行了FSS样品的MSMS微加工与传输性能测试。论文的主要研究内容包括如下几个方面:1)在查阅相关文献与有机薄膜材料理化性质的基础上,筛选并确定了作为频率选择表面基底的有机薄膜材料。该部分主要通过查阅相关文献与资料的方式,研究了聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚四氟乙烯与聚对苯二甲酸乙二醇酯等有机薄膜材料作为FSS基底材料时在相应工作频段的插入损耗特性及其在MEMS微加工工艺中的适用性,最后确定将PET薄膜作为FSS的基底材料。2)仿真设计了满足星载指标要求的频率选择表面。该部分首先确定了FSS的基本单元结构,然后通过采用相关仿真软件进行仿真的方式,分析了周期大小、线宽、金属厚度、有机薄膜厚度、FSS结构层数等参数对于FSS传输性能的影响。在此基础之上,根据准光学馈电网络对于频率分离器件的指标要求,对设计的结构进行优化设计,仿真结果表明,当有机薄膜基底厚度为100μm,金属铜的层数为8层时,优化后的设计参数可以使FSS在183 GHz的插入损耗在0.3 d B以内,同时在118 GHz的反射损耗在0.3 d B以内,在118 GHz处的隔离度大于22 d B,各项传输性能完全满足设计指标要求。3)FSS样品的MEMS微加工技术研究。该部分是本论文的核心部分。首先进行了多层频率选择表面的加工工艺流程设计,然后研究了在有机薄膜材料表面进行MEMS微加工工艺的关键技术,将前一部分设计的FSS结构进行了实物加工,得到了多层有机薄膜基FSS的结构样品。4)多层有机薄膜基FSS样品的传输性能测试。该部分主要使用天线近场测试系统,对采用MEMS微加工工艺加工得到的多层FSS样品在183 GHz的插入损耗特性进行了测试。