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脉冲激光沉积技术(Pulsed Laser Deposition 简称PLD)是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的一项制膜技术,它自20世纪60年代世界上出现了第一台红宝石激光器起开始萌芽,一直比较缓慢地发展。直到1987年,高Tc超导氧化物薄膜在贝尔实验室制备成功,PLD技术引起了人们的广泛关注并迅速发展起来。这项技术较其他薄膜制备技术有激光能量高、薄膜的化学成分比与靶材一致、沉积速率高、基片温度要求低等优点,因此成功的制备了多种铁电、压电等功能薄膜材料。与此同时,与这一技术相应的机理研究也