反应磁控溅射法制备玻璃基TiO<,2>/TiN/TiO<,2>复合多层薄膜的研究

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该论文介绍了节能镀膜玻璃特别是低辐射镀膜玻璃的发展概况、节能特性、原理、低辐射膜的种类及常用的制备方法,并总结出以钛元素的氮化物TiN以其良好的导电性和优良的光学特点、方便的制备方法,能够成为经济性节能镀膜玻璃的主要膜层材料.
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